Introduction to microfabrication.

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Franssila, Sami
Format: Book
Language:English
Published: Chichester : Wiley, 2004.
Subjects:
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
LEADER 00673nam a22002178 4500
001 001071213
005 20180201122334.0
008 031210s2004 xxk f 000 eng e
020 |a 0470851058 
040 |a BDS 
089 |a 621.3817 
089 |a 621.38132 
100 1 |a Franssila, Sami 
245 1 0 |a Introduction to microfabrication. 
260 |a Chichester :  |b Wiley,  |c 2004. 
300 |a 384 p. (hbk). 
356 |a 90.00  |b EUR 
358 |b 20040115  |c NP 
650 0 0 |a Microfabrication 
999 |c 415541  |d 415541 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_381700000000000_FRA  |7 0  |9 676279  |a PILKINGTON  |b PILKINGTON  |c MAIN  |d 2004-02-11  |g 54.00  |l 14  |o 621.3817/FRA  |p 0402868455  |r 2015-08-05  |w 2018-02-01  |y LONG